EFEM系統

川岳的晶圓搬運系統 (EFEM)可與各種AOI晶圓檢測機配合，提供客製化的要求。EFEM系統兼容FOUP和OPEN CASSETTE裝載端口，可使用真空吸盤或邊緣夾持的方式來處理晶圓。無論您是需要單個模塊，還是整套系統，我們都能為您的EFEM系統提供最佳解決方案。現在就聯繫我們。了解客製化EFEM系統解決方案的更多訊息。