晶圓搬送系統解決方案
EFEM
EFEM是專為半導體製造業設計的自動化輸送系統,用於搬運半導體晶圓,能夠高效處理晶圓在不同製造步驟之間準確移動。
川岳設計的晶圓搬送系統在物料搬運的同時,具備精準的定位能力,並與其他設備無縫連接,從而提高生產率和質量。
川岳的EFEM能夠為您客製化並且符合SEMI S2的標準,可滿足客戶對穩定性和精確度的高要求,是半導體製造業中自動化晶圓搬送的好夥伴。
17 port EFEM晶圓處理系統
17port EFEM晶圓處理設備,是專門為半導體行業的晶圓裝/卸載而開發的客製化設備,可以用於眾多半導體設備之間裝卸載的操作,並依照您所需端口數量專門打造的設備。
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