4 port EFEM晶圓處理系統
EFEM、晶圓搬送系統
4port EFEM晶圓處理設備,是專門為半導體行業的晶圓裝/卸載而開發的標準型設備,可以用於眾多半導體設備之間裝卸載的操作。
1. 具有高無塵等級、高穩定性和精度…等特點
2. 與各種AOI晶圓檢測設備的搬運過程兼容
3. 可OEM/ODM,並可以根據實際工作流程進行設計
4. 符合SEMI S2的製作規範
規格
- 面板用潔淨室輸送設備可以依據製程進行客製化設計
- 潔淨室等級可以達到class 100
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17 port EFEM晶圓處理系統
17port EFEM晶圓處理設備,是專門為半導體行業的晶圓裝/卸載而開發的客製化設備,可以用於眾多半導體設備之間裝卸載的操作,並依照您所需端口數量專門打造的設備。
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